全自动减薄机、单面抛光机、双面抛光机、CMP抛光、CMP后清洗机、贴蜡机
TFG-3200是一款简单易操作、功能丰富的高精度研削设备,设备配置自动厚度测量和补偿系统,通过驱动减薄砂轮非常快速地旋转,自动研削晶圆至目标精度,工作台可定制,兼顾多尺寸晶圆,设备应用广泛。
双面抛光机分为双面机械抛光和双面化学抛光两种,分别代表双面抛光的粗加工和精加工。大多数都用在晶片的表面抛光,简单易操作,搭配不同的夹具,抛光垫,抛光液能轻松实现不一样的材料,不一样的尺寸,不同厚度的晶片抛光。
用于氧化物、金属、STI、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光,应用广泛。全自动CMP抛光机是一款针对薄膜(介质层)的全自动抛光设备,操作便捷,兼容性强,通过更换抛光压头实现不一样的尺寸晶圆的兼容,采用自动化装片方式,机械手自动取放片,同时搭配双面PVA滚刷进行在线刷洗功能,实现干进干出。
北京特思迪半导体设备有限公司,是一家拥有自主知识产权的国家高新技术企业,专注于半导体领域超精密平面加工设施的研发、生产和销售。以“引领半导体技术进步,助力客户发展”为使命,致力于成为全世界技术领先的半导体设备制造企业。
特思迪以更平、更薄、更可靠为技术导向,深耕半导体衬底材料、晶圆制造、半导体器件、先进封装、MEMS等领域的超精密平面加工技术,形成了技术领先,性能优越,工艺稳定的核心技术优势,可提供减薄、抛光、CMP的系统解决方案和工艺设备。
特思迪以坚守科技匠心,坚持长期主义为经营理念,以领先的半导体平面技术,成就客户的核“芯”竞争力,带给产业无限可能。
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